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PRODUCT CATEGORYSOPTOP AWL 系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細(xì)節(jié)的高清捕捉,可對半導(dǎo)體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問題進(jìn)行有效監(jiān)控,是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。
更新日期:2024-01-31
型號:AWL系列
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
快速導(dǎo)航
產(chǎn)品系列
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